ある大手半導体パッケージ・テストメーカー
ウェハ欠陥検査 × AOI再判定
判別効率5倍、誤判定率70%低減
Pain Points
お客様の課題
- ウェハの欠陥パターンは数十種類に及び、人手による再判定は時間がかかり、判定基準も人によってばらつく
- プロセスノードの微細化が進み、従来の光学検査では厳しさを増す品質要求に応えきれない
- ベテランエンジニアが繰り返しの再判定に多くの時間を奪われ、工程改善に手が回らない
Results
導入効果
- AIが欠陥パターンを自動で判別・分類し、判別効率は5倍に向上
- 誤判定率を70%低減し、エンジニアは本当に異常なロットだけに集中
- オンプレミス導入でデータは工場外に出さない、機密性の高い要件にも対応
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